Recording of 0.1 micron minimum mark size in a new phase change media

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MIURA, Hiroshi, HAYASHI, Yoshitaka, FUJITA, Shunsuke, UJIIE, Koji, YOKOMORI, Kiyoshi
Format: Tagungsbericht
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:10.1117/12.399336