Growth properties of AlxGa1-xAs grown by MOVPE using TEG and TMA

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese journal of applied physics 1987-09, Vol.26 (9), p.L1459-L1461
Hauptverfasser:	SHINOHARA, M, IMAMURA, Y, YANAGAWA, F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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