Bonding and electronic structures of amorphous SiNx:H

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1987-04, Vol.61 (8), p.2916-2920
Hauptverfasser: HASEGAWA, S, TSUKAO, T, ZALM, P. C
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-8979
1089-7550
DOI:10.1063/1.337836