Preparation of tungsten nitride film by CVD method using WF6

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 1987-12, Vol.134 (12), p.3175-3178
Hauptverfasser:	NAKAJIMA, T, WATANABE, K, WATANABE, N
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Other techniques and industries
Online-Zugang:	Volltext
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