Versatile diffusion system for novel device structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Measurement science & technology 1991-08, Vol.2 (8), p.807-810
Hauptverfasser:	McLellan, R D, Salih, S I, McGinnity, T M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronic equipment and fabrication. Passive components, printed wiring boards, connectics Electronics Exact sciences and technology
Online-Zugang:	Volltext
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