In situ detection of methyl radicals in laser chemical vapor deposition environment by resonance ionization spectroscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 1990-04, Vol.56 (14), p.1380-1382
Hauptverfasser:	OKADA, T, ANDOU, H, MORIYAMA, Y, MAEDA, M
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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