Relationship between crystal structure and chemical composition of PbTiO3 thin films prepared by sputter-assisted plasma CVD

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese journal of applied physics 1992-06, Vol.31 (6A), p.1872-1873
Hauptverfasser:	MIHARA, T, MOCHIZUKI, S, KIMURA, S, MAKABE, R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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