Plasma CVD-grown 10B-enriched boron films for Si neutron detectors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese journal of applied physics 1990, Vol.29 (11), p.2526-2530
Hauptverfasser: SATO, N, ISHIWATA, O, SEKI, Y, UEDA, A
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/jjap.29.2526