Oxygen rich SIMOX?

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor science and technology 1991-08, Vol.6 (8), p.730-734
Hauptverfasser:	Scanlon, P J, Hemment, P L F, Reeson, K J, Robinson, A K, Kilner, J A, Chater, R J, Harbeke, G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Defects and impurities in crystals microstructure Doping and impurity implantation in iii-v and ii-vi semiconductors Exact sciences and technology Physics Structure of solids and liquids crystallography
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!