The role of dislocation interactions in the relaxation of pseudomorphically strained semiconductors. II: Experiment : the high-temperature relaxation of ultrahigh-vacuum chemical-vapor-deposited SiGe thin film
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 1992, Vol.71 (10), p.4820-4825 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-8979 1089-7550 |