The role of dislocation interactions in the relaxation of pseudomorphically strained semiconductors. II: Experiment : the high-temperature relaxation of ultrahigh-vacuum chemical-vapor-deposited SiGe thin film

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 1992, Vol.71 (10), p.4820-4825
Hauptverfasser: STIFFLER, S. R, STANIS, C. L, GOORSKY, M, CHAN, K. K, DE FRESART, E
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-8979
1089-7550