High-reliability interconnections for ULSI using Al-Si-Pd-Nb/Mo layered films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 1992-06, Vol.39 (6), p.1322-1326
Hauptverfasser:	ONUKI, J, KOUBUCHI, Y, SUWA, M, KOIZUMI, M, GARDNER, D. S, SUZUKI, H, MINOWA, E
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Design. Technologies. Operation analysis. Testing Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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