Cathodic arc deposition of TiN and Zr(C,N) at low substrate temperatures using a pulsed bias voltage

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Materials science & engineering. A, Structural materials : properties, microstructure and processing Structural materials : properties, microstructure and processing, 1991, Vol.140, p.830-837
Hauptverfasser:	FESSMANN, J, OLBRICH, W, KAMPSCHULTE, G, EBBERINK, J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Metals. Metallurgy Nonmetallic coatings Production techniques Surface treatment
Online-Zugang:	Volltext
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