Reactivity ion plated TiN : effects of R.F. power density on the structure and electrochemical properties

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Thin solid films 1991, Vol.204 (2), p.285-296
Hauptverfasser:	CARSON, R. T, GIVENS, J. H, SAVAGE, H. S, LEE, Y. W, RIGSBEE, J. M, CROISANT, W. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physical properties of thin films, nonelectronic Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface energy thermodynamic properties Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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