Sub-30 nm lithography in a negative electron beal resist with a vacuum scanning tunneling microscope

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 1991, Vol.58 (22), p.2526-2528
Hauptverfasser:	DOBISZ, E. A, MARRIAN, C. R. K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Mechanical and acoustical properties adhesion Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Solid-fluid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
Online-Zugang:	Volltext
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