Chamber material effects on actinometric measurments in rf glow discharges

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 1991, Vol.69 (5), p.2885-2888
Hauptverfasser:	COTLER, T. J, PASSOW, M. L, FOURNIER, J. P, BRAKE, M. L, ELTA, M. E
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0021-8979 1089-7550