Silicon-to-thin film anodic bonding

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 1992-09, Vol.2 (3), p.117-121
Hauptverfasser:	Hanneborg, A, Nese, M, Jakobsen, H, Holm, R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Mechanical instruments, equipment and techniques Physics
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