X-ray study of silicon distortion on deposition of diamond-like films

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	CHAPLANOV, V, GALKIN, I, NEFEDOV, A, SHIPOV, I, YAKIMOV, S, GERASIMOVICH, S, ELINSON, V, SLEPTSOV, V
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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