On-site phosphine purificatin for gas-source MBE of InGaAlP

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	HAFICH, M. J, WOODS, L. M, KIM, H. S, PATRIZI, G. A, ROBINSON, G. Y
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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