High throughput vaccum chemical epitaxy

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	FRAAS, L. M, MALOCSAY, E, SUNDARAM, V, BAIRD, R. W, MAO, B. Y, LEE, G. Y
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics Vacuum deposition
Online-Zugang:	Volltext
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