Real-time, in situ monitoring of GaAs and AlGaAs photoluminescence during plasma processing

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics letters 1990-02, Vol.56 (9), p.821-823
Hauptverfasser:	MITCHELL, A, GOTTSCHO, R. A, PEARTON, S. J, SCHELLER, G. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Exact sciences and technology Optical properties and condensed-matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation Photoluminescence Physics
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!