Design and static modeling of a semicircular polymeric piezoelectric microactuator

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of microelectromechanical systems 1992, Vol.1 (3), p.106-115
Hauptverfasser: BREI, D. E, BLECHSCHMIDT, J
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1057-7157
1941-0158
DOI:10.1109/84.186389