The influence of a hydride preflow on the crystalline quality of InP growth on exactly oriented (100)Si

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1992, Vol.21 (12), p.1141-1146
Hauptverfasser:	LUBNOW, A, TANG, G. P, WEHMANN, H.-H, SCHLACHETZKI, A, BUGIEL, E, ZAUMSEIL, P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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