Electrical characteristics of TiB2 for ULSI applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 1992-10, Vol.39 (10), p.2341-2345
Hauptverfasser: CHANG SIK CHOI, QINGFENG WANG, OSBURN, C. M, RUGGLES, G. A, SHAH, A. S
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0018-9383
1557-9646
DOI:10.1109/16.158806