The structural and optical properties of a-SiNx : H prepared by plasma-enhanced chemical-vapor deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 1992-12, Vol.72 (11), p.5474-5482
Hauptverfasser:	KANG-CHENG LIN, SI-CHEN LEE
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Lattice dynamics Physics Vibrational states in disordered systems
Online-Zugang:	Volltext
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