Performance of multilayer coated gratings at near normal indidence in the extreme ultaviolet

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physica scripta 1990, Vol.41 (6), p.740-744
Hauptverfasser: BARBEE, T. W, BIXLER, J. V, DIETRICH, D. D
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0031-8949
1402-4896