Representation of ion implantation profiles by Pearson frequency distribution curves

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 1990-07, Vol.23 (7), p.870-876
Hauptverfasser: Ashworth, D G, Oven, R, Mundin, B
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0022-3727
1361-6463
DOI:10.1088/0022-3727/23/7/018