ZrAl3 intermetallic compound thin film as a diffusion barrier between Al and Au layers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese journal of applied physics 1994, Vol.33 (6A), p.3531-3537
Hauptverfasser:	JIN-KUO HO, KWANG-LUNG LIN
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Diffusion interface formation Exact sciences and technology Metals. Metallurgy Physical properties of thin films, nonelectronic Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
Online-Zugang:	Volltext
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