Theory and application of charge pumping for the characterization of Si-SiO2 interface and near-interface oxide traps

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 1994-07, Vol.41 (7), p.1213-1216
Hauptverfasser: PAULSEN, R. E, WHITE, M. H
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0018-9383
1557-9646
DOI:10.1109/16.293349