On the mechanism of PxOy emission from a silicon pyrophosphate-containing solid planar diffusion source

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor science and technology 1994-02, Vol.9 (2), p.137-139
Hauptverfasser:	Peev, G, Rouseva, M, Zambov, L
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry Exact sciences and technology Inorganic chemistry and origins of life Kinetics and mechanism of reactions
Online-Zugang:	Volltext
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