Na2SO4-induced corrosion of Si3N4 coated with chemically vapor deposited Ta2O5

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the American Ceramic Society 1995-07, Vol.78 (7), p.1927-1930
Hauptverfasser: LEE, W. Y, BAE, Y. W, STINTON, D. P
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0002-7820
1551-2916
DOI:10.1111/j.1151-2916.1995.tb08911.x