Na2SO4-induced corrosion of Si3N4 coated with chemically vapor deposited Ta2O5
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Veröffentlicht in: | Journal of the American Ceramic Society 1995-07, Vol.78 (7), p.1927-1930 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0002-7820 1551-2916 |
DOI: | 10.1111/j.1151-2916.1995.tb08911.x |