The sputtering of different modifications of boron nitride under ion and electron irradiation

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ELOVIKOV, S. S, ELTEKOV, V. A, NEGREBETSKAYA, N. N, SUSHKOVA, J. V, YURASOVA, V. E, SHKARBAN, I. I, BUZHINSKIJ, O. I, OPIMACH, I. V
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	rus
Online-Zugang:	Volltext
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