Abscheidung von Hartstoffschichten des Typs (B,C,N) bei niedrigen Beschichtungstemperaturen im PACVD-Prozeß

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Materialwissenschaft und Werkstofftechnik 1994-11, Vol.25 (11), p.431-434
Hauptverfasser:	Rie, K.-T., Gebauer, A., Wöhle, J., Erker, G., Mohr, R., Sarter, C.
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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