Proximal probe lithography and surface modification: Nanotechnology

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Microelectronic engineering 1996, Vol.32 (1-4), p.173-189
Hauptverfasser:	MARRIAN, C. R. K, SNOW, E. S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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