Micromachined silicon cantilever paddles with piezoresistive readout for flow sensing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 1996-03, Vol.6 (1), p.69-72
Hauptverfasser:	Su, Y, Evans, A G R, Brunnschweiler, A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Fluid dynamics Fundamental areas of phenomenology (including applications) Instrumentation for fluid dynamics Physics
Online-Zugang:	Volltext
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