Production of large diameter plasma by using multi-annular antenna for electron cyclotron resonance

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 1996-02, Vol.5 (1), p.28-31
Hauptverfasser:	Hatta, Akimitsu, Ushigusa, Yoshihiro, Yasaka, Yasuyoshi, Itatani, Ryohei
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma production and heating Plasma sources
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