Complex XRD microstructural studies of hard coatings applied to PVD-deposited TiN films. II: Transition from porous to compact films and microstructural inhomogeneity of the layers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Thin solid films 1995, Vol.268 (1-2), p.72-82
Hauptverfasser:	KUZEL, R. JR, CERNY, R, VALVODA, V, BLOMBERG, M, MERISALO, M, KADLEC, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Structure and morphology thickness Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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