MEMS : The maturing of a new technology

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Solid state technology 1997-09, Vol.40 (9), p.89-96
Hauptverfasser:	POTTENGER, M, EYRE, B, KRUGLICK, E, LIN, G
Format:	Magazinearticle
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Design. Technologies. Operation analysis. Testing Electronics Exact sciences and technology Integrated circuits Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!