Atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapor deposition of hydrophobic coatings using fluorine-based liquid precursors: Atmospheric Pressure Plasma
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Veröffentlicht in: | Surface & coatings technology 2013, Vol.234, p.21-32 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0257-8972 1879-3347 |