Materials characterization of plasma deposited copolymer using CFC-113 with C2H4 monomer

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Japanese journal of applied physics 1997, Vol.36 (7B), p.4964-4967
Hauptverfasser: TSUJI, O, MINAGUCHI, T, NAKANO, H, TATSUTA, T
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-4922
1347-4065
DOI:10.1143/jjap.36.4964