Materials characterization of plasma deposited copolymer using CFC-113 with C2H4 monomer
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Veröffentlicht in: | Japanese journal of applied physics 1997, Vol.36 (7B), p.4964-4967 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-4922 1347-4065 |
DOI: | 10.1143/jjap.36.4964 |