Electrical Comparison of HfO2 and ZrO2 Gate Dielectrics on GaN

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on electron devices 2013-12, Vol.60 (12), p.4119-4124
Hauptverfasser: BOTHE, Kyle M, VON HAUFF, Peter A, AFSHAR, Amir, FOROUGHI-ABARI, Ali, CADIEN, Kenneth C, BARLAGE, Douglas W
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0018-9383
1557-9646
DOI:10.1109/TED.2013.2283802