Influence of Al2O3 layer thickness on high―temperature stability of TiAIN/Al2O3 multilayers

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied surface science 2013, Vol.285, p.287-292
Hauptverfasser:	GAO, C. K, YAN, J. Y, DONG, L, LI, D. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Physics
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