Design and Evaluation of a MEMS-Based Stirling Microcooler: High Heat Flux Cooling of Electronics

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of heat transfer 2013, Vol.135 (11)
Hauptverfasser:	DONGZHI GUO, JINSHENG GAO, MCGAUGHEY, Alan J. H, FEDDER, Gary K, MORAN, Matthew, YAO, Shi-Chune
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Micro- and nanoelectromechanical devices (mems/nems) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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