A fabrication process for electrostatic micro actuators with integrated gear linkages

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of microelectromechanical systems 1997, Vol.6 (3), p.234-241
Hauptverfasser:	LEGTENBERG, R, BERENSCHOT, E, ELWENSPOEK, M, FLUITMAN, J. H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electrical engineering. Electrical power engineering Electrical machines Exact sciences and technology Mechanical engineering. Machine design Precision engineering, watch making Special rotating machines
Online-Zugang:	Volltext
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