Dynamic neural control for a plasma etch process: Everyday applications of neural networks

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on neural networks 1997, Vol.8 (4), p.883-901
Hauptverfasser:	CARD, J. P, SNIDERMAN, D. L, KLIMASAUSKAS, C
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Artificial intelligence Computer science control theory systems Connectionism. Neural networks Exact sciences and technology
Online-Zugang:	Volltext
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