SiNx Nanopillars on GaN-Based LED to Enhance Light-Extraction Efficiency by a Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction Method

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of lightwave technology 2013-07, Vol.31 (13-16), p.2413-2418
Hauptverfasser:	SHEI, Shih-Chang, CHU, Ming-Hsuan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Optoelectronic devices Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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