Modified Pulsed MOS Capacitor for Characterization of Ultraclean Thin p/p+ Silicon Epitaxial Layers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 2013-08, Vol.60 (8), p.2592-2597
Hauptverfasser:	ARASH ELHAMI KHORASANI, ALFORD, Terry Lynn, SCHRODER, Dieter K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Dielectric, amorphous and glass solid devices Electronics Exact sciences and technology Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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