Phase stability and elastic properties of titanium aluminum oxynitride studied by ab initio calculations: Pulsed high-power plasmas for deposition of nanostructured thin films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2013, Vol.46 (8)
Hauptverfasser:	BABEN, Moritz To, RAUMANN, Leonard, SCHNEIDER, Jochen M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges Plasma applications Plasma-based ion implantation and deposition
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