Characteristics of 1-MHz discharges in SF6/Ar and CF4/Ar mixtures in a parallel-plate system

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese journal of applied physics 1997-03, Vol.36 (3A), p.1268-1273
Hauptverfasser:	AOYAGI, K, ISHIKAWA, I, KUSUNOKI, H, SAITO, Y, SUGANOMATA, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Glow corona Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges
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