Lateral-Transistor Test Structures for Evaluating the Effectiveness of Surface Doping Techniques : The 2011 International Conference on Microelectronic Test Structures

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on semiconductor manufacturing 2012, Vol.25 (4), p.581-588
Hauptverfasser:	LIN QI, LORITO, Gianpaolo, NANVER, Lis K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Diodes Electronics Exact sciences and technology Interfaces Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Testing, measurement, noise and reliability Transistors
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