Processing of photonic crystals in InP membranes by focused ion beam milling and plasma etching : Nanoscale Imaging, Fabrication and Materials Modifications using Ion Beams

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KUSSEROW, Thomas, WULF, Matthias, ZAMORA, Ricardo, KANWAR, Kelash, HILLMER, Hartmut
Format: Tagungsbericht
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0167-9317
1873-5568